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Abbr.

Full Name

释义

系统名称

部门

A

A1/A2

Hi/Hi Hi or Lo/LoLo

一二阶报警

气体/化学系统

FAC

AC

Activity Carbon

活性炭

水处理系统

FAC

ACB

Air Circuit Breaker

空气断路器

FAC

AEX

Ammonia Exhaust

碱性排气

管路名词

FAC

AHU

Air Handling Unit

空调箱

空调系统

FAC

AMHS

Automatic Material Handle System

自动物料传输系统

IT

APC

Automatic Pressure Control

自动压力控制

FAB

APCVD

Atmospheric Pressure CVD

常压化学气相沉积设备

TF

AR

Action Request

需整改的缺失

A/S

Air Shower

空气浴尘室

空调系统

FAC

AS

Ammeter Switch

电流表切换开关

电力系统

FAC

Atm

Atmosphere

101325Pa ，1 公斤

压强单位

ATS

Automatic Transfer Switch

自动切换开关

任何系统

FAC

AEX

Ammonia Exhaust

碱性排气

空调系统

FAC

B

BOD

Biochemical Oxygen Demand

生化需氧量/生化耗氧 量(五日化学需氧量)

水处理系统

FAC

BGW

Back Gridding Wastewater

晶背研磨废水

管路名词

FAC

C

CCTV

Close Circuit Television

闭路电视

监控系统

FAC

CDA

Compressor Dry Air

压缩干燥空气

管路名词

FAC

CDE

Chemical Dry Etching

化学干法蚀刻

ET

CDS

Chemical Dispense System

化学系统

气体/化学系统

FAC

CDW

Condensate Water

冷却水

空调系统

FAC

Ceiling

最高容许浓度

SHE

CHW

Chiller Water

冰水

空调系统

FAC

CIM

Computer Integrate Manufacture

计算机整合技术

组织名称

IT

C_Lab

Chemical Lab

化学实验室

组织名称

QRA

CMP

Chemical Mechanical Polish

化学机械研磨

组织名称

DF&CMP

COD

Chemical Oxygen Demand

即化学需氧量

水处理系统

FAC

CQC

Continuous Quality Control

连续品质控制系统

气体/化学系统

FAC

CUP

Central Utility Plant

中央动力厂房

建筑物名称

FAC

CVD

Chemical Vapor Deposition

化学气相沉积

TF

CW

City Water

自来水

管路名词

FAC

D

DAHW

Drain Ammonia Hydride Wastewater

含氨废水

管路名词

FAC

DCC

Dry Cool Coil

干冷盘管

空调系统

FAC

DCS

Double cooling System

双冷却系统

ET

DCVD

Dielectric CVD

介质化学气相沉积

TF

DF

Diffusion

扩散

组织名称

FAB

DIW

De-ionized Water

去离子水

水处理系统

FAC

DL

Direct Line

直接员工

DO

Dissolved Oxygen

溶解氧

水处理系统

FAC

DUV

Deep ultraviolet

深紫外线

PH

DUPS

Dynamic Uninterruptable Power system

动态不间断电源

动力系统

FAC

E

EAR

Engineer Abnormal Report

工程异常报告

MFG

EAP

Equipment Automation Program

机台自动化程序

自动化

IT

EBR

Edge Bead Remove

边缘球状物移除法

PH

EE

Equipment Engineer

设备工程师

职位名称

FAB

EIC

仪电部

组织名称

FAC

ERC

Emergency Response Center

紧急应变中心

紧急应变

SHE

ERCV

Emergency Response Containment Vessels

紧急泄漏抢救桶

紧急应变

FAC

ERT

Emergency Response Team

紧急应变小组

紧急应变

SHE

ESV

Emergency Shut-off Valve

紧急切断阀

气体供应系统

FAC

ET

Etch

蚀刻

组织名称

FAB

EUV

Extreme ultra-violet

扩展紫外线

PH

F

FAB

Fabrication

晶圆厂

组织名称

FAC

Facility

厂务

组织名称

FA_Lab

Failure Analyze_Lab

失效性分析实验室

组织名称

QRA

FCU

FAN COIL UNIT

风盘管

空调系统

FAC

FFU

Fan Filter Unit

风扇过滤器

空调系统

FAC

FMCS

Facility Monitoring Control System

厂务设施监控系统

电力系统

FAC

FWW

Fluoride WasteWater

含氟废水

管路名词

FAC

G

GC

Gas Cabinet

气瓶柜

气体/化学系统

GEX

General Exhaust

一般排气

管路名词

FAC

GF

Gravity Filter

重力式过滤器.

水处理系统

FAC

GIS

Gas Insulated Switch

气体绝缘开关

电力系统

GL

Group Leader

生产组长

职位名称

MFG

GMS

Gas Monitoring System

气体监测系统

气体/化学系统

FAC

GN2

General Nitrogen

一般用氮气

管路名词

FAC

GR

Gas Rack

钢瓶架

气体/化学系统

H

HDP CVD

High Destiny Plasma CVD

高密度电浆化学气相沉 积

制程

TF

HEPA

High Efficiency Particulate Filter

高效率过滤器

空调系统

FAC

HFW

High Fluoride Waste

高浓度氢氟酸废液

管路名词

FAC

Hook Up

组织名称

FAC

HTO

High temperature Oxide Reaction

高温氧化物反应

DF&CMP

HV

House Vacuum

真空吸尘

管路名词

FAC

HVAC

HEATING，VENTILATION，AIR- CONDITIONING

空调系统

FAC

I

IDL

Indirect Line

间接员工

IDLH

Immediately Death Limited Health

立即致生命健康危险浓 度

SHE

ILD

Inter Layer Dielectric

电介质连接层

TF

I-Line

曝光过程中用到的光

PH

IMD

Inter Metal Dielectric

金属层间介电质层

TF

IMP

Implant

离子植入

组织名称

DF

IWW

Industry WasteWater

工业废水

管路名词

FAC

L

LAU

Local Alarm Unit

当地报警单元

气体/化学系统

FAC

Leak-Age

液体泄漏报警系统

监控系统

FAC

LC50

Median Lethal Concentration

半数致死浓度

气体/化学系统

LD50

Median Lethal Dose

半数致死剂量

气体/化学系统

LEL

Lower Explosive Limit

最低爆炸极限

气体/化学系统

SHE

LPCVD

Low Pressure CVD

低压化学气相沉积法

制程名称

TF

M

MAC

Maximum Allowance Concentration

最大容许浓度

气体/化学系统

SHE

MAU

Make-up Air Unit

外气空调箱

空调系统

FAC

MB

Mixed Bed

混床

水处理系统

FAC

MCC

Motor Control Center

马达控制中心

电力系统

FAC

MCS

Material Control System

物料控制系统

IT

MCVD

Metal chemical vapor deposition

金属化学气相沉积

TF

MD

Membrane Degasify

脱气膜

水处理系统

FAC

MD CENTER

Monitor Dummy Center

档控片回收中心

建筑物名称

MFG

ME

Mechanical

机械空调部

组织名称

FAC

MFC

Mass Flow Controller

质量流量控制计

FAB

MMF

Multi-Media Filter

多介质过滤器

水处理系统

FAC

MO

Mis-Operation

误操作

MOCVD

Metal Organic CVD

金属有机 CVD

TF

MOS

Metal Oxide Semiconductor

金属氧化物半导体

process

FAB

Move In

移入（指设 备/ 施搬入 FAB 的动作）

MSDS

Material Safety Data Sheet

物质安全资料表

SHE

MV

Middle Voltage

中压盘

电力系统

FAC

N

NCS

NOTIFIER Monitor System

火警监控系统

监控系统

FAC

O

OOC

Out of Control

制程结果在允许规格内，

违反统计制程管制规则

OOS

Out of Spec

制程结果超出允许规格

OQC

Out-going Quality Control

出货质量控制

组织名称

OWW

Organic WasteWater

有机溶剂废水

管路名词

FAC

P

PAPR

Power Air Powered Air-Purifying Respirator

电动送风式呼吸防护器 具

个人防护用具

SHE

PAr

Process Argon

制程用氩气

管路名词

FAC

PAW

Phosphoric Acid Waste

磷酸废液

管路名词

FAC

PC

Process Chamber

反应腔

制程

FAB

PCVD

Photo CVD

光照射式化学气相沉积 法

TF

PCW

Process Cooling Water

工艺冷却水

管路名词

FAC

PDB

Power Distribution Box

电源分配箱

FAB

PE

Process Engineer

工艺工程师

职位名称

FAB

PEB

Pre-Exposure Bake

预曝光烘烤

PH

PECVD

plasma-enhanced CVD

电浆增强式化学气相沉 积

TF

PEL

Permissible Exposure Limit

允许暴露限值

SHE

PEL-Ceiling

最高容许暴露浓度

SHE

PEL-STEL

Short Term Exposure Limit

短时间(15 min)时量平均

容许浓度

SHE

PEL-TWA

Time-weighted Average

工作日时量平均容许浓度

SHE

PH

Photo ，Photolithography

光刻

组织名称

FAB

pH

Hydrogen ion Concentration

pH 值

PH2

Process Hydrogen

制程用氢气

管路名词

FAC

PHe

Process Helium

制程用氦气

管路名词

FAC

PHS

Personal Handy-phone System

个人手持电话系统，小 灵通

通信系统

PIE

Process Integrate Engineering

工艺整合技术部

组织名称

FAB

PIV

Power Valve

生命安全阀， 升杆式指 示阀

消防系统

FAC

PIX

PIX waste

PIX 废液(光感聚乙酰氨)

管路名词

FAC

PLTC

Parallel Load Transfer Controller

平行负载转换器

电力系统

FAC

PM

Preventive Maintenance

维护保养

PMD

Pre-Metal Dielectric

金属沉积前的介电质层

TF

PN

Production Note

制造通知

MFG

PN2

Process Nitrogen

制程用氮气

管路名词

FAC

PO2

Process Oxygen

制程用氧气

管路名词

FAC

PR

Photo Resist

光阻

PH

PPB

Parts per billion

μg/m3

浓度单位

PPE

Personal Protective Equipment.

个人防护器具

环境安全卫生

SHE

PPM

Parts per million

mg/m3

浓度单位

PV

Process Vacuum

工艺真空

管路名词

FAC

PVD

Physical Vapor Deposition

物理气相沉积

TF

R

RA Lab

Reliability Analyze_Lab

可靠性分析实验室

组织名称

QRA

RCL

Recycle water

制程回收循环水

管路名词

FAC

RCM

Reclaim water

制程回收再利用水

管路名词

FAC

RCU

Recycle Coil Unit

回风盘管

空调系统

FAC

RHU

Re Heater Unit

再热器

空调系统

FAC

RIE

Reactive Ion Etch

反应式离子蚀刻

ET

RO

Reverse Osmosis

逆渗透膜

水处理系统

FAC

RTA

Rapid Thermal Anneal

快速加热退火

FAB

RTMS

Reticle Management System

光罩管理系统

RTO

Rapid Thermal Oxide

快速加热氧化

DF&CMP

RTP

Rapid Thermal Process

快速加热制程

DF&CMP

S

SA

Strong Anion

强阴离子

水处理系统

FAC

SAR

Supplied-air Respirator.

供风呼吸器

SHE

SAW

Sulfuric Acid Waste

硫酸废液

管路名词

FAC

SC

Strong Cation

强阳离子

水处理系统

FAC

SCADA

Supervisory Control And Data Acquisition

监视控制和数据搜集系 统

电力系统

FAC

SCBA

Self Contained Breathing Apparatus

自给式空气呼吸器

FAC

SCC

Security Control Center

警卫控制室

SCW

Secondary Chilled Water

二级冷却水

空调系统

FAC

SCX

Scrubbed Exhaust

酸排气

空调系统

FAC

SDS

Slurry Dispense System

化学研磨系统

气体/化学系统

FAC

Safety Delivery System

安全传输系统（负压钢 瓶）

DF&CMP

SEM

Scan Electronic Microscope

扫描电子显微镜

检测仪器

PH

SEX

Scrubber Exhaust

酸排气

管路名词

SHE

Safety Health Environment

安全健康环境

组织名称

SHE

SLW-M

Slurry Wastewater Metal

金属研磨废水

管路名词

FAC

SLW-O

Slurry Wastewater Oxide

介电质研磨废水

管路名词

FAC

SLW-P

Slurry Wastewater Poly

多晶硅研磨废水

管路名词

FAC

SMIF

Standard Machine Interface

标准机械接口界面

FAB

SOD

Spin-On Dielectric

自旋涂布的介电质层

TF

STEL

Short Term Exposure Limit

短时间时量平均容许浓 度(15 min)

SHE

STI

Shallow Trench Isolation

浅沟槽绝缘

DF&CMP

SW

Stripper Waste

剥离液废液

管路名词

FAC

SV

Super Visor

生产课长

职位名称

MFG

SubFAB

FAB 二楼

T

Take-Off

衔接口

管路名词

FAC

TCW

Tertiary Chilled Water

三级冷却水

空调系统

FAC

TECN

Temporary Engineering Change Notice

暂时工程变更

MFG

TF

Thin Film

薄膜

组织名称

FAB

TCM

Total Chemical Management

化学品管理厂商

TGM

Total Gas Management

气体管理厂商

Tie In

接入

TLV

Threshold Limit Value

阈限值、恕限量 空气中 的物质浓度

SHE

TOC

Total Organic Carbon

总有机碳

水处理系统

FAC

T/R

Turn Ratio

芯片之移动速度

MFG

Tube Clean

Turn On

打开（指为机台送水/电 /化学品的动作）

TDS

Total Dissolved Solids

总溶解固体量

水处理系统

FAC

TPP

Training Project promotion

培训及专案推展课

组织名称

MFG

TW

Thinner Waste

清洗废液

管路名词

FAC

TWA

Time Weighted Average

八小时时量平均容许浓 度

SHE

U

UCA

Utility Compressor Air

设施用压缩空气

管路名词

FAC

UEL

Upper Explosive Limit

爆炸浓度上限

UF

Ultra Filtration

超滤

水处理系统

FAC

ULPA

Ultra Low Penetration Filter

超高效率过滤器

空调系统

FAC

UN2

Utility Nitrogen

设施用氮气

管路名词

FAC

UPS

Uninterruptable Power system

不间断电系统

电组名词

FAC

UPW

Ultra Pure Water

超纯水

水处理系统

FAC

USG

Un-doped Silicate Glass

未掺杂硅玻璃

DF&CMP

V

VAV

Variable Air Volume box

可变风量风箱

空调系统

FAC

W

WCVD

Wolfram-CVD

钨金属化学气相沉积

TF

VEN

VENTILATION

通风

空调系统

FAC

VESDA

Very Early Smoke Detection Apparatus

极早期烟雾侦测系统

监控系统系统

FAC

VEX

Volatile organic compound Exhaust

有机溶剂排气

管路名词

FAC

VFD

Variable Frequency Device

变频器

电力系统

FAC

VMB

Valve Manifold Box

阀箱

气体/化学系统

FAC

VMP

Valve Manifold Panel

阀盘

气体/化学系统

FAC

VOC

Volatile Organic Compound

挥发性有机物质

空调系统

FAC

WA

Weak Anion

弱阴离子

水处理系统

FAC

WAT

Wafer Acceptance Test

组织名称

PIE

WGC

Water Gas Chemical

水气化

组织名称

FAC

Wipe Down

擦拭区

地点名称